結(jié)構(gòu)特點:

· 專為特氣關(guān)鍵制程工藝設(shè)計

· 面板式整體結(jié)構(gòu)便于安裝

· 主體采用316L不銹鋼材質(zhì)，更適合于半導(dǎo)體制程特氣使用

· 金屬膜片減壓結(jié)構(gòu)

· 硬密封結(jié)構(gòu)，避免材質(zhì)老化污染

· 采用膜片閥控制，流道簡潔，操作可靠，使用壽命長

· 閥組采用焊接與VCR結(jié)構(gòu)連接，大幅避免泄漏。

· 可選用報警信號壓力表結(jié)構(gòu)，供氣欠壓提供報警信號

· 特氣系列減壓器

· 配安全閥

· 進口減壓閥及管路經(jīng)耐壓測試和泄漏測試

· 2”不銹鋼壓力表，讀數(shù)清晰

· 所有膜片閥旋鈕帶“開啟/關(guān)閉”指示窗